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| 品牌新松 | 有效期至长期有效 |
| 浏览次数208 | 最后更新2018-12-18 13:56 |
Pre-Aligner预对准机SALN-612A-2V
简介
Introduction
晶圆预对准是晶圆搬运以及整个IC制造过程中的重要环节,晶圆的定位与识别都需要Pre-aligner的参与。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口,进而补偿其偏心并将缺口转至一预设方向,为下一步的晶圆识别或处理做好准备。新松Pre-Aligner具有定位精高、对准速度快等优点，大大缩短了晶圆的传输与处理时间，提高了晶圆的生产效率。
参数
Parameter
| 自由度数DOF | T，Z |
|---|---|
| 传感器类型Sensor | CCD |
| 晶圆尺寸Wafer Size | 200mm/300mm |
| 缺口类型 Type | Notch/Flat |
角度定位精度Precision of angle | ±2° |
中心定位精度Precision of center | ±1mm |
| 对准时间Position Time | 4S |
| 洁净等级 Clean Class | Class 2 |
允许最大偏差 Maximum mis-placement allowed | 5mm |
| 电源Power Supply | 24VDC/3A |
企业资料通过认证 
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