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TTS-3000 EFEM

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沈阳新松
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  • 发货地辽宁 沈阳市
  • 供货总量999 台
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  • 身份验证|
  • 经营模式|制造商,贸易商
  • 注册资本|156024万人民币
  • 企业类型|企业单位(制造商,贸易商)
  • 主营产品|工业机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人、智能装备、智能物流、智能工厂、智能交通
  • 公司地区|辽宁/沈阳市
  • 公司荣誉| 已通过认证
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品牌新松 有效期至长期有效
浏览次数197 最后更新2018-12-18 13:56

TTS-3000 EFEM

简介

Introduction

新松一直致力于提供半导体晶圆加工和其他复杂的制造环境所需的高性能、超洁净和久经考验的可靠性。公司成功研发了真空传输平台,该平台是集成大气机器人,预对准机等部件的综合性产品,可以给客户提供晶圆传送的一体化方案。产品具有很强的适应性,以满足特定的应用需求。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。满足半导体制造商的期望和要求。


参数

Parameter


结构形式

Mechanical Structure Machine  Design reference standard

柱坐标型 SCARA

Cylindrical Coordinate/SCARA

驱动方式

Drive method User Interface Design reference standard

伺服电机servo motor

手数量

Number of Arm

1
自由度数DOF4+1(外部轴)

运动范围

Moving  Range

升降轴Z -Axis330mm
回转轴T-axis330°
伸展轴R-axis待定
腕关节轴W-axis0—180°

运动速度

Moving  Speed
升降轴Z -Axis330mm/s(Maximum)
回转轴T-axis360°/s(Maximum)
伸展轴R-axis1000mm/s(Maximum)
外部轴external axis1200mm/s(Maximum)
腕关节轴W-axis180°/s
负载能力Payload300mm晶圆wafer
重复定位精度Repeatability±0.1mm
最大振动Max Vib±0.3g
置换重复性Displacement repetitive0.05mm
ARM水平度±0.15°/800mm
可靠性Reliability>100,000,000  MCBF




供应商信息

新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)隶属中国科学院,是一家以机器人技术为核心,致力于全智能产品及服务的高科技上市企业,是中国机器人产业前10名的核心牵头企业,也是全球机器人产品全的厂商,国家机器人产业化基地。新松公司成立于2000年,本部位于沈阳,在上海设有国际总部、在北京设有投资总部,在沈阳

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公司名 新松机器人自动化股份有限公司 经营模式制造商,贸易商
注册资本156024万人民币 公司注册时间2000
公司所在地辽宁/沈阳市 企业类型企业单位 (制造商,贸易商)
保 证 金已缴纳 0.00 资料认证  企业资料通过认证
主营行业自动导向车  , 自动化系统  , 工业机器人  , 服务机器人  , 特型机器人  , 
主营产品或服务工业机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人、智能装备、智能物流、智能工厂、智能交通
联系方式
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