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大气机械手SRBJ1A-AD4401

品牌新松	有效期至长期有效
浏览次数177	最后更新2018-12-18 13:55

大气机械手SRBJ1A-AD4401

简介

Introduction

耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高速传片效率和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。

参数

Parameter

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload	名称name	晶圆wafer
	直径diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度数DOF		4
手数量Number of Arm		2
最大回转直径Maximum Swing diameter		520mm
运动范围 Moving Range	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	350°
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	R760mm
最大速度 Maximum Moving Speed	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	375mm/s
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	360°
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	1100mm/s
重复定位精度 Repeatability	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
洁净度Clean Class		CLASS 1
主机重量Body Weight		70 kg
电源Power Supply		VAC 220V±10%

公司名	新松机器人自动化股份有限公司	经营模式	制造商,贸易商
注册资本	156024万人民币	公司注册时间	2000
公司所在地	辽宁/沈阳市	企业类型	企业单位 (制造商,贸易商)
保证金	已缴纳 0.00 元	资料认证	企业资料通过认证
主营行业	自动导向车 , 自动化系统 , 工业机器人 , 服务机器人 , 特型机器人 ,
主营产品或服务	工业机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人、智能装备、智能物流、智能工厂、智能交通

公司名

新松机器人自动化股份有限公司

经营模式

制造商,贸易商

注册资本

156024万人民币

公司注册时间

2000

公司所在地

辽宁/沈阳市

企业类型

企业单位 (制造商,贸易商)